摘要： 为研究激光加工氧化铝陶瓷高质量微孔的成型工艺，采用皮秒激光自旋切割模式在0.3 mm厚的氧化铝陶瓷上加工直径为0.2 mm的微通孔。研究了激光加工参数(激光功率、离焦量、重复频率、打孔次数及扫描速度)对微孔质量的影响。试验结果表明，随着激光功率的增加，孔的入口、出口直径增大，入口、出口圆度和锥度呈现减小的趋势；随着扫描速度的降低，孔的锥度呈下降趋势；随着负离焦量的增大微孔锥度逐渐减小；重复频率的变化对微孔质量各性能指标影响不大。试验发现激光功率和离焦量是影响微孔质量主要因素。最终在功率为27 W、离焦量为-0.7 mm、扫描速度为400 mm/s、重复频率为100 kHz及打孔次数为10次时获得入口圆度为2.995μm、出口圆度为3.509μm及锥度为5.96°的高质量微孔。
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