摘要： 针对传统电机驱动的小型Stewart平台无法达到纳米级定位的问题，设计了一种基于压电陶瓷的并联六自由度平台。该平台采用球副连接、对称分布及单层结构的设计，起到提升小型Stewart平台的定位精度的目的。通过分析并联六自由度平台定位原理，构建了6个自由度的位姿控制模型。通过仿真软件进行有限元分析，同时，在实体样机上进行实验分析，验证位姿控制模型的正确性。分析结果显示：并联六自由度平台沿X、Y和Z方向的行程均为-13.48～13.99μm,沿U、V方向的行程均为-616.59～639.17μrad,沿W方向的行程为-406.02～391.68μrad。目标位移与实验结果的最大误差为3.71%,验证了位姿控制模型的正确性。

关键词: 压电陶瓷; 微位移; 定位原理; 位姿控制模型; 并联六自由度平台

中图分类号: 

• TH122